电镜能谱扫描仪
设备名称:JEOL(日本电子)JSM-6480型扫描电镜
OXFORD(牛津)INCA-350型能谱仪
OXFORD(牛津)INCA wave 550型波谱仪
制造厂家:日本电子、牛津
性能指标:
分辨率 3.0 nm
放大倍数 5×~300000×
加速电压 0.3kv~30kv
行程 X=125mm Y=100mm Z=80mm
倾斜 T –10°~+90°
旋转 R 360°连续
样品托 φ32mm
图像模式 二次电子图像 背散射电子图像
显示像素 2560×1920
探头 锂漂移硅 Si(Li)
分析元素范围 Be4 以上元素
探头分辨率 优于133ev
对分析区域 点扫描、线扫描、面扫描、不规则区域扫描
应用范围:断口扫描、微观成分分析。